微电子行业由器件和微电子材料等组成,器件和微电子材料细分为外延片、soi片、硅抛光片、ic制造等,天津纯化水装置,这些器件的生产都需要用到工业从纯水,如生产期间用的纯水水质不达标,则会直接影响设备的使用寿命,下面了解一下微电子行业用的是哪种水处理设备?
水的电阻率:按照我国有关用水标准(gb/t11446.1-1997),---集成电路元器件的生产的用水水质一般要求电阻率大于18mo-cm。
温馨提示:的有关用水标准(gb/t11446.1-1997)水的电阻率分为四个等级:四级为电阻率0.5mo-cm、三级电阻率12mo-cm、二级电阻率不低于15mo-cm、一级电导率18mo-cm以上。
纯水脱盐率:微电子行业做的器件一般都会使用到电脑、耳机、充电宝、电视机、手机等的电子设备,因此要求纯水的脱盐率应---99%以上。
纯水树脂:电子行业用的纯水树脂要求在95%以上。
超纯水取水时一定要将初期的出水放掉,以获得稳定的水质。
取水时让超纯水顺着容器侧壁流入,尽量不要让气泡产生,可降低空气污染。
请不要在终端滤器后再连接软管,使用直接取水的方式才能获得纯度高的超纯水。
长时间不用纯水时,纯化水装置多少钱,应将压力储水桶中的ro水全部放掉以防止污染。
超纯水机若长时间不使用,再次使用时应把初期纯水充分放掉以---水质。原则上,纯水机应至少每7—10天通水一次,以防止微生物污染。
根据行业的特殊性,工业的纯水设备因采用低碳不锈钢或其他经验证不污染水质的材料且需要定期的进行清洗、灭菌消毒,半导体行业水处理设备,而且整个设备从系统设计、材质选择、制备过程、贮存、分配和使用都需要根据用水的标准规范来设定。
去离子水的工艺可分为四种:
1、用阳阴离子交换树脂取得的去离子水电阻率在10us/cm以下;
2、两级反渗透水处理技术:原水(自来水或者是地下水)***多介质过滤器***活性炭过滤器***软化水器***中间水箱***低压泵***精密过滤器***一级反渗透***ph调节***混合器***二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)***纯水箱***纯水泵***微孔过滤器***用水对象。出水电阻率可控制在1~18mω.cm之间;
3、预处理(即砂碳过滤器+精密过滤器)+反渗透+混床工艺,可以去除90%以上的水中离子;
4、预处理(即砂碳过滤器+精密过滤器)+反渗透+edi连续除盐,用电再生,不用酸碱再生树脂;
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